REBIUN - ODA

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Formalismes físics per a la...

Formalismes físics per a la microscopìa d'efecte túnel [aplicació d'un STM atmosfèric en microelectrònica

Barniol i Beumala, Núria

Universidad Autónoma de Barcelona 1993

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Monografía

monografia Rebiun02794666 https://catalogo.rebiun.org/rebiun/record/Rebiun02794666 A10218s1993 sp |bm 000|0 cat d 84-7929-395-0 UOV0734493 UAM 991003157219704211 CBUC 991005822599706706 BUS Barniol i Beumala, Núria Formalismes físics per a la microscopìa d'efecte túnel Microforma] :] aplicació d'un STM atmosfèric en microelectrònica caracterització de Si i d'estructures MOS Núria Barniol i Beumala ; [direcció Xavier Aymerich Humet] Bellaterra Universidad Autónoma de Barcelona 1993 Bellaterra Bellaterra Universidad Autónoma de Barcelona 1 microficha (11 x 15) + 1 folleto (7 p. ; 18 cm) 1 microficha (11 x 15) + 1 folleto (7 p. ; 18 cm) Publicacions de la Universitat Autònoma de Barcelona Resumen en catalán e inglés Tesis Univ. Autónoma de Barcelona Universidad Autónoma de Barcelona (España)- Tesis y disertaciones académicas Microscopia electrónica Dispositivos MOS Silicio Microscopios electronicos de barrido Aymerich Humet, Xavier director Universidad Autonoma de Barcelona. Publicacions

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