Descripción del título
Monografía
monografia Rebiun27953359 https://catalogo.rebiun.org/rebiun/record/Rebiun27953359 h| |||||||||| 950725s1995 spc |b 000 ||eng LL1995 bnc B 9351-1995 Biblioteca de Catalunya 844750719X CBUC 991026455009706706 ES-BaBC cat ES-BaBC 537.14:543.422.8 543.422.8:537.14 Alay, Josep Lluís Study of surface phenomena acting during ion beam oxidation of semiconductor and chemical etching of ultra-thin oxides Microforma] Josep Lluís Alay i Rodríguez Barcelona Publicacions Universitat de Barcelona 1992 Barcelona Barcelona Publicacions Universitat de Barcelona 1 microfitxa 11x15 cm + 1 fullet (9 p. ; 16 cm) 1 microfitxa Col·lecció de tesis doctorals microfitxades 2309 A la contraportada: Divisió: Ciències Experimentals i Matemàtiques. Departament: Física Aplicada i Electrònica Tesi doctoral, Universitat de Barcelona, 1993 Bibliografia Superficies (Tecnología) Oxidació. Semiconductors. Espectroscòpia de raigs X. Superficies Semiconductors. Espectroscòpia de raigs X. Universidad de Barcelona. Departament de Física Aplicada i Electrònica Col·lecció de tesis doctorals microfitxades 2309